标称尺寸外径2mm的超微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。CYG502的压力敏感元件采用先进的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化，把整个芯片尺寸缩小到1×1mm大小，而输出灵敏度仍可达到100kpa的量程，为超微型传感器的实现取得关键突破。把传统设计中的硅–玻璃键合改为硅–硅键合，改善了热匹配效果，减少了应力带来的零位不稳定性。目前已面市品种有绝压型测量模式产品，表压型正在研制中。CYG502A绝压型超微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф2.15mm，长度为18mm，传感器的可选量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa绝对压力。CYG502A绝压传感器用敏感元件正面承压。因此，它仅适用于介质为无腐蚀性，不导电性的干燥气体。它有着相当宽的工作温区，可达-55℃～+120℃，也有着非常优秀的高频动态特性，其最低量程的敏感元件的固有频率＞200kHz，上升时间为亚微秒。1、性能指标参数指标/档级非线性精度 ±%FS迟滞重复性 %FS零位温度系数 ×10-4FS /℃灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃零位时漂 ＜mv/8hJA0.50.1550.2JB0.20.1220.12、满量

标称尺寸外径3mm的微型压力传感器CYG503是专为空气动力学研究试验中，要求安装尺寸小，不扰动流场，动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压力畸变、喘振等的空气动力学性能测定。CYG503的压力敏感元件采用先进的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工，精密各向异性腐蚀形成的硅薄膜力敏结构使其具有很高的压力灵敏度和小至1.5mm以下的径向尺度。先进的微型化的压力敏感芯片采用无应力封装技术，密封封装在特制的微型安装基座和不锈钢毛细管中。绝压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔，表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处。CYG503A绝压型微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，特制的短柱形CYG503AS将长度缩短为12mm。可选量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa绝对压力。CYG503G表压型微型压力传感器为探针形、标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，背压引出毛细管长为12mm。可选量程为160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表压力。CYG503的设计制作专利已获得国家发明专利授权、专利号为：200410103083.3。CYG504微型螺

标称尺寸外径8mm的圆柱形微型高压传感器CYG508原是为创伤医学，埋植测量高频动态高压设计的，是高频动态压力传感器CYG401的微型化封装产品。也可用于小容积体内爆燃高压、石油勘采压裂测井等要求小尺寸安装的动态高压测试用途。CYG508的压力敏感元件采用先进的MEMS技术设计与制造，采用了背面齐平承压、无管腔封装等一系列已获得授权的专利技术。因而具有高达数百千赫兹的固有频率，快至亚微妙的上升时间，确保了高频动态压力测试的要求。小的封装外形尺寸满足了特殊环境条件的要求。（6Mpa以上如有动态要求需注意其结构安装强度）CYG508微型高压传感器为表压（2Mpa以下时）或密封表压（2Mpa以上时）模式，其外形有标准的小圆柱形及衍生的螺纹安装型，详见外形图。CYG508的标准量程为1、1.6、2.5、4、6、10、16、25、40、60Mpa，其余量程需协商特订。CYG508适用于对硅、玻璃、不锈钢，环氧树脂胶相兼容的任何气、液体介质。1、性能指标参数指标/档级非线性精度 ±%FS迟滞重复性 %FS零位温度系数 ×10-4FS /℃灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃零位时漂 ＜mv/8hJA0.50.1550.2JB0.20.1220.12、满量程输出： 最小值30mv 典型值80mv 最大值130mv3、输入输出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 最大值7 kΩ4、输入工作电流：1.5mA（恒流源）5、工作温度范围：-40℃～+105℃6、补偿温度范围：-10℃～+60℃7、过载能力： 额定量程的200%8、加速度灵敏度：＜0.0005%FS/g9、外形尺寸图：（特殊外型可

标称尺寸外径8mm的微型微压传感器是专为空气动力学研究流场分布设计的，它特别适用于模型尺寸较厚或模型中空的实验工况。传统的用毛细管引出压力用扫描阀巡测的方式，因毛细管频响的损失而测得的为稳态流场分布。现场直接布置微型传感器的方法可获得精确的动态流场分布。CYG507的压力敏感元件采用先进的MEMS技术设计与制造。采用CAD技术的力敏结构与版图设计优化了力学模型、双岛膜结构（低微压）和梁膜岛复合结构（超微压）使得压力敏感元件实现了低量程、高灵敏度和优良线性度的统一兼得，应力互补设计和无应力微封装技术实现了量程下的良好稳定性。CYG507为表差压型，有探针型和螺纹安装式两种外形。探针型产品量程2.5kpa以上的外径为6mm，2.5kpa以下的量程的外径为8mm，长度均为18mm，螺纹型的螺纹为M10×1。外形见附图。CYG507采用敏感元件反面承压，因此它有优良的介质兼容性。CYG507采用准齐平无管腔的封装设计，因此有优良的动态特性，可用频率即使是最低量程500pa的品种可达1000Hz以上。CYG507的可选量程为0.5、1、1.6、2.5、4、10、16、25kpa。1、性能指标参数指标/档级非线性精度 ±%FS迟滞重复性 %FS零位温度系数 ×10-4FS /℃灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃零位时漂 ＜mv/8hJA0.50.2550.3JB0.20.2330.22、满量程输出： 最小值20mv 典型值60mv 最大值100mv3、输入输出阻抗：最小值2 kΩ 典型值5 kΩ 最大值8kΩ4、输入工作电流：2mA或1.5mA5、工作温度范围：-40℃～+105℃6

CYG511型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将极薄的传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。它极薄的专用柔性引线可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。CYG511的压力敏感元件采用先进的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械加工，精密各向异性腐蚀及硅硅直接键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有超薄的厚度。它综合力敏结构与衬底加固结构的总厚度仅为0.6mm，更有利于获得更薄最终尺寸的薄形传感器。CYG511为绝压测量模式，标准压力量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa。CYG511外形为薄圆扣式。标称直径为ф8 mm，厚度为2.2 mm，引出线为5线柔性电线，长度为1m，在1m终点处接有用PCB板制成的电桥补偿平衡器，柔性电线的厚度为0.15 mm，宽度为4 mm。CYG511由于用敏感元件正面承压，因此它适用于完全无腐蚀性，不导电性的干燥气体。它有相当宽的工作温区和非常优良的动态频响特性，可使用在低至零频，高至数千赫兹频带。如果介质因素复杂，含水量高，可使用复盖有有机硅凝胶保护表面及电极的CYG511S（有机硅凝胶会降低其动态频响性能）。采用薄

CYG512型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中超薄形模型上下表面压力场分布设计的，是CYG511的改进型。尤其适用于缩模径向尺寸较大，厚度很小，不能或不容易挖坑贴埋，只能贴于表面的工况设计的。1mm左右的厚度使其对流场的影响减小到很小的程度。CYG512使用了CYG511同样的先进的硅硅直接键合的压力敏芯片，具有很优良的静态力学特性。由于精密设计与加工的封装结构在将总厚度缩小到1mm左右的同时，也就大大减小了敏感元件与传感器进压壳体封装空间的容积，将浅型管腔对动态频响的影响减至最小，因此它具有优良的动态特性。CYG512标准压力量程为100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000ka。CYG512的有两种外形尺寸，一种为薄扣形，ф8 mm直径，总厚度为1.2 mm；一种为薄条片形，6×10×1mm引出线均为4mm宽，0.15mm厚，1m长柔性引线。薄扣形为不锈钢结构，上表面超薄不锈钢薄膜上有激光钻刻的均布式和螺旋线形进气筛孔。薄条式无顶盖，仅在贴装敏感元件处复盖很薄的有机硅保护膜，用户可接自己的实用工况需求进行选择。1、性能指标参数：指标/档级非线性精度 ±%FS迟滞重复性 %FS零位温度系数 ×10-4FS /℃灵敏度温度系数 ×10-4FS /℃零位时漂 ＜mv/8hJA0.50.1550.2JB0.20.1220.12、满量程输出： 最小值30mv 典型值80mv 最大值130mv3、输入输出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 最大值7 kΩ4、输入工作电流：1.5 mA（表压型） 1mA（绝压型）（恒流源）5、工作温

CYG515 压力变送器压力传感器是专为空气动力学研究中模型表面分布压力场设计的，尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针行传感器的应用工况，将薄的CYG515 传感器直接贴装和挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装，CYG515的超细电缆引线可直接贴在模型表面上，基本上不影响被测流场。

CYG516 压力变送器压力传感器是专为空气动力学研究中模型表面分布压力场设计的，尤其适用于模型很薄、无法用打孔安装微型探针行传感器的应用工况，将薄的CYG516 传感器直接贴装和挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装，CYG515的4mm直径超细导气的专用电缆引线可直接贴在模型表面上（参考管可与电缆分离，也可与电缆一体），基本上不影响被测流场，同时解决了参考压力的引出。

该产品力敏元件利用硅压阻效应，通过MEMS工艺及微封装技术相结合制作而成，当敏感元件感受到压力作用时，将会输出一个与压力成正比变化的电压信号。该产品适用于小尺寸模型中非饱和以及饱和土体中渗透水压测量，通常与动态土应力传感器配套使用，该产品具有微小的外观尺寸、较宽的量程范围、优异的静态特性以及长期的稳定性，较常规渗透水压力传感器具有更高的灵敏度。