输出:模拟量、SSI、CANopen |
分辨力:模拟量:16位D/A或满量程的0.0015%(最小1μm) 数字量: 1 / 2 / 5 / 10 / 20 / 40 / 50 / 100 μm |
非线性度:<满量程的±0.01%,最小±50μm |
重复精度:<满量程的±0.001%,最小±1μm |
查看更多