MEMS 电容式技术 电容式倾角传感器的关键组件是优质微电子机械系统(MEMS)，具 有良好的长期稳定性和可靠性。该技术可测量静态加速度(DC)和 恒 定 加 速 度 ， 如 地 球 的 重 力 矢 量 。 通 过 测 量 加 速 度 ( 在 ± 1 g 范 围 内 )， 利用三角函数原理计算出传感器灵敏方向与地平线之间的倾角。电 容式倾角传感器的其他优点还包括优异的温度稳定性，良好的响应 性能和可实现的分辨率。 描述 倾角传感器的分辨率小于 0.001°。此外，比例因子的长期稳定性(±500 ppm)和零偏(±0.2°)是状态需求和结构健康监测应用的基本要求。 集成电子电路有助于确保准差分模拟电压输出(±2.0 V FSO)和灵活 的电源电压(6-40 VDC)。 ASC TS-9xV1 传感器具有轻量级铝制外壳，保护等级为 IP67，而 ASC TS-9xV5 传感器具有稳健的不锈钢外壳，保护等级为 IP68，二者皆有 带可配置长度和接头的集成电缆。 应用 该系列传感器的出色分辨率和长期稳定性使得倾角传感器适合检测 塔架摆动、轨道对准和轴对准、补偿卡车底盘或机床的角度定位。