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Coventor

Coventor，一家Lam Research公司, 是开发半导体工艺技术以及微机电系统 (MEMS) 的自动化解决方案的市场领导者。Coventor 为集成设备制造商、内存供应商、无晶圆设计公司、独立代工厂和研发组织的全球客户群提供服务。其 SEMulator3D 建模和分析平台用于对先进制造工艺进行快速准确的“虚拟制造”，使工程师能够在开发过程的早期了解制造效果，并减少耗时且成本高昂的硅学习周期。其 MEMS 设计解决方案用于为汽车、航空航天、工业、国防和消费电子应用开发基于 MEMS 的产品，包括智能手机、平板电脑和游戏系统。该公司成立于 1996 年，总部位于美国北卡罗来纳州罗利。我们在马萨诸塞州沃尔瑟姆设有开发和销售办事处；加利福尼亚州弗里蒙特；爱尔兰都柏林; 法国巴黎; 韩国和日本东京。

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COVENTOR Coventor-磁力计 MEMS解决方案

武汉恩硕科技 Coventor-磁力计 MEMS解决方案
Coventor Coventor谐振器 MEMS解决方案

在过去，MEMS设备通常是在电路板上用线连接到单独封装的CMOS控制芯片。这种方法现在正被更先进的混合多芯片和片上系统(SoC)解决方案所取代，这些解决方案将MEMS和CMOS功能结合在一个基片上。
Coventor Coventor可变电容&RF开关 MEMS解决方案

静电驱动RF MEMS开关和可变电容器使用拉入不稳定性来实现低功率驱动和锁存。高程度的非线性，加上机械接触和制造效应，如薄膜应力梯度，使其特别具有挑战性，以创建一个高屈服和可靠的设计。因此，许多这样的设备是经过多年昂贵的硅学习周期才上市的。快速、准确地模拟这些设备，在制造之前完成，可以消除许多这些耗时的设计周期。
Coventor Coventor弹出齿轮驱动镜 MEMS解决方案

Coventor为设计MEMS设备提供了一套全面的软件工具。CoventorMP提供MEMS设计自动化功能，而SEMulator3D用于构建复杂MEMS结构的3D工艺模型。这个例子突出了SEMulator3D在设计基于MEMS弹出式齿轮驱动镜方面的能力。该反射镜采用Sandia超平面多级MEMS技术5 (SUMMiT VTM)制作工艺，
Coventor Coventor-硅化锗MEMS加速度计 MEMS解决方案

使用SEMulator3D进行虚拟制造可以实现复杂MEMS结构和工艺流程的可视化。这个例子演示了SEMulator3D在过程建模方面的能力，使用的是用IMEC的多Si-Ge MEMS技术制作的电容式MEMS加速度计。采用IMEC后cmos MEMS工艺的单片集成可以减少不必要的寄生，提高加速度计的性能和更小的形状因子。然而，集成方案对工艺开发、制造和成品率有影响。
Coventor Coventor-加速度传感器 MEMS解决方案

MEMS加速度计广泛应用于汽车安全气囊展开和消费电子应用，如智能手机。此外，在工业、航空航天和国防应用领域，如石油勘探、桥梁结构健康监测和导航惯性测量单元，对高端MEMS加速度计的需求不断增长。
Coventor Coventor-麦克风 MEMS解决方案

MEMS麦克风市场在过去几年中增长迅速，和移动设备一样，麦克风现在也越来越多地被消费电子产品所采用。智能设备现在使用两个或更多的MEMS麦克风来提高方向灵敏度，并采用有源噪声消除来获得更好的音质，麦克风阵列也被用于其他基于消费者的产品(如Amazon Echo和谷歌Home)，具有多向功能，以提高性能。
Coventor Coventor-能量采集器 MEMS解决方案

基于MEMS的能量采集器有潜力为小型系统提供“永久”动力。应用领域包括医疗、消费、汽车和环境设备。包含基于mems的能量采集器的无线传感器网络(WSN)(见下图1)对于现场环境、健康和习惯监测特别有意义，因为在那里电池很难适用或不实用。
Coventor Coventor-驱动器 MEMS解决方案

MEMS执行器是将电能转换为机械运动的设备，在快速增长的MEMS市场中占50%以上的份额。它们被用于各种光学、射频和工业应用。例子包括可变电容器(变容器)，用于低功耗超大规模集成电路的微继电器，光学移相器，下一代显示器，用于机器人手术的微夹持器，以及用于移动设备中的相机的聚焦机制。
Coventor Coventor-数字光处理（DLP）镜 MEMS解决方案

Coventor提供一套全面的软件工具，用于设计集成的MEMS和IC器件。SEMulator3D是Coventor的一个软件平台，用于构建复杂MEMS结构和CMOS电路的3D工艺模型，并可视化建模设备的电气连接。一个最著名的单片集成CMOS电路和MEMS器件的例子是德州仪器数字微镜器件。TI数字微镜由大量微尺度mems数字光开关组成。每个开关控制一个像素的光。开关利用静电吸引旋转，并由底层SRAM单元控制。使用SEMulator3D构造的单个像素的虚拟3D表示如图所示。
Coventor Coventor-陀螺仪 MEMS解决方案

MEMS陀螺仪是一类重要的惯性传感器，广泛应用于各种消费设备，包括智能手机、相机和导航系统。陀螺仪在汽车上的应用非常广泛，对可靠性要求很高。此外，工业和国防市场要求高水平的精度，这从根本上影响陀螺仪的设计参数。
Coventor Coventor-微测辐射热探测器 MEMS解决方案

从军方和执法部门使用的夜视摄像机，到数字红外热成像等医学成像技术，热图像传感器正变得无处不在。随着这一技术的商业应用的增加，热成像相机业务一直在良好地增长，预计这种增长将加速。
Coventor Coventor-微镜 MEMS解决方案

光学MEMS或MOEMS在数字投影领域取得了最大的成功。最初的DLP(数字光投影)技术是由德克萨斯仪器公司开发的。DLP技术现在被用于投影仪、电视机、数字电影院和增材制造。MOEMS正在越来越多地应用于其他应用，包括无源光显示技术、光学网络、微型相机的聚焦和变焦机制，以及激光雷达设备中使用的扫描镜。为了满足复杂的MOEM设计需求，工程师们正在采用一种混合设计方法，这种方法比定制模型开发具有显著的优势，同时减少了耗时和昂贵的构建和测试周期。
Coventor Coventor-谐振器 MEMS解决方案

在45亿美元的市场上，MEMS创新者正在迅速用基于MEMS的谐振器取代传统的石英谐振器。与石英谐振器不同，MEMS谐振器可以小型化和扁平化，以更好地解决手持无线设备和汽车应用所需的形状因素。MEMS谐振器也可以与驱动电路集成，在一个封装中提供完整的时序解决方案，节省宝贵的电路板空间。这些优点，加上MEMS器件中较低的功率要求、可靠性优势和改进的温度稳定性，为基于MEMS的谐振器提供了令人信服的理由。