差距进一步扩大?ASML第三代EUV光刻机交付,用于2nm芯片报价约13亿元

2024-03-19
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ASML最近在社交平台上发布了一份文件,称芯片制造商需要速度,第一个TWINSCAN NXE:3800E已安装在芯片厂。

据了解,TWINSCAN NXE:3800E是ASML的第三代标准EUV光刻机,配有0.33数值孔径透镜,与之前发布的TWINSCAN相比 NXE:3600D性能进一步提高,可支持未来几年芯片行业3nm和2nm制造芯片的生产。

性能方面,TWINSCAN NXE:3800E在晶圆处理速度和对准精度方面表现更好。它可以实现每小时处理195个晶圆的速度,比3600D每小时约160个晶圆的速度提高22%左右,未来可能会提高到每小时处理220个晶圆的速度。此外,它还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。

TWINSCAN NXE:提高了3800E的精度和速度,使芯片制造商在生产2nm工艺芯片和后续需要双曝光的制造技术方面取得了良好的效果。但即使是4nm或5nm的工艺芯片,TWINSCAN NXE:3800E还可以提高效率,提高芯片生产效率,从而降低成本。

当然,目前行业领先的EUV光刻机的自然价格并不便宜。据了解,TWINSCAN NXE:每套3800E报价1.8亿美元,换算成人民币约13亿元。然而,与前段时间ASML卖给英特尔的High相比,-NA EUV光刻机TWINSCANN EXE:5200(报价3.8亿美元)也算是性价比更高。

虽然ASML没有透露第一个TWINSCAN NXE:3800E交付给了哪家制造商,但一些评论指出是英特尔。在ASML的帮助下,美国芯片公司正在努力扩大与其他国家的差距。

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