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硅烷是一类硅氢有机物的总称,包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些异构或者更高级的烷类。其中应用最多的是甲硅烷,因此,通常所说的硅烷是指甲硅烷。这是一种才常温下无色、有刺激性气味的高危易燃易爆气体。因其可制作高纯度硅及含硅化合物,目前被广泛应用于半导体、微电子制膜中,并扩展应用到钢铁、机械、化工和光学等领域中,每年因此而消耗的硅烷量巨大。
传感器专家网的硅烷气体传感器采用了电化学的检测原理。传感器内部有一对电极并构成电池元件的形式,当被测气体到达相应的反应电极(感应电极)时,发生化学反应并形成一内部电流。通过测量该与被测气体浓度成比例关系的电流便可得到气体的浓度值。为提高测量稳定性,还专门增加了一参考电极,与外部稳压电路一起可以起到稳定感应电极电势中的作用。此外,传感器专家网硅烷气体传感器采用了扩散栅栏的设计形式,保证进入传感器的气体都能够与感应电极反应,并保持电极的化学活性,使得传感器具有良好的使用寿命和温度稳定性。
型号 量程 使用寿命 响应时间 灵敏度 输出 分辨率 基线偏移 
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SiH4 3E 50 LT 0-50ppm 2年 <60s 130±70nA/ppm 电流 <500ppb <±25nA  查看
记录总数:1 | 页数:11

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