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三种不同结构与用途的硅压力传感器原理

硅压力传感器,又叫扩散性半导体压力传感器。今天,小编为您介绍三种主流的硅压力传感器类型。

 

 

霍尼韦尔TruStability电路板安装型硅压力传感器TBP系列(本网站主推产品)

 

1.血压计用硅压力传感器

    这种类型的传感器在80℃以下测定空气等非腐蚀性气体,需用硅凝胶等软质树脂进行封装,即把硅圆片粘接在金属底座上,再引出连接线。为提高可靠性而用硅凝胶填充定形,其优点是成本很低。其原理是,待测气体通过与管壳上的管子连接的橡胶管导入,压力通过硅凝胶的传导,作用到圆形隔片的上部,其下部受到大气的压力,在受压的场合下,两个压力差使得隔片变成凹形。

        2.汽车用硅压力传感器

       这种硅压力传感器,由于是安装在引擎系统中,要耐受汽油蒸汽的110℃的高温,为使其稳定工作,这里就不能使用树脂,而需要在金属底座上用玻璃把硅片和硅台座连接起来。

金属底座和硅片的热膨胀系数是不同的,因此用5mm厚的硅台座进行缓冲。管子安装在没有元件的硅片内侧,在管壳内是真空的情况下检测出绝对压力。

       3.流量计用硅压力传感器

       流量计用硅压力传感器,其内部填充液体,主要用于油压及成套设备作流量计。其结构是,将硅片安装在底座上以后,在管壳的上部用薄SUS隔片密封,内部封入硅油。因为测定体只与SUS的隔片接触,因此能够耐受某些腐蚀性气体和液体,其特点是成本较高。

       此外,硅压力传感器的检测方式有检测压差显示的压力型、绝对压力型和硅片两侧都有管子的二差压型三种方式。

 

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