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气体传感装置在企业生产车间特气房中的重要应用

在武汉东湖新技术开发区,一家负责手机显示屏加工的微电子企业的特气房生产车间,是该公司防控措施最为严密、也最为安全的场所。据悉,在该公司偌大的车间里,只有10来个身着洁净服的员工。据介绍,前段车间生产均为自动化设备,现场员工日常只负责监控生产设备各项参数。这些设备检修部位都配有各类传感器及安全联锁装置,当手伸进去的时候,设备会联动停止,以防员工受伤。

 

特气房工程师正在检修,资料图


手机显示屏加工,就是在特制的玻璃上印刷电路,从而实现触屏等功能。在制程过程中,需要用到6种特殊气体:氯气、氨气、三氟化氮、六氟化硫、硅烷、磷烷氢混合气,它们或易燃易爆,或有毒有害,均属于危险化学品。

氯气房气体泄露检测装置

其中,氯气是一种黄绿色有刺激性气味的气体,具有毒性。急性氯气中毒,轻者呼吸系统受损,重者会导致死亡。

进入该公司氯气房后,只见氯气充装在一个密封的特制圆形钢瓶中,钢瓶瓶头阀是气体最容易泄漏的地方,针对这一风险,公司专门制作瓶头阀箱,箱内设负压排气装置、内置有氯气传感器的气体侦测报警器。一旦阀门出现气体泄漏,气体侦测器报警并联动切断气体供应,同时,负压排气可将泄漏气体抽入室外尾气处理装置予以净化。

通往生产车间的氯气管道均为双管:内管通氯气,外管中装有探测器,也有负压,能起到自动监测和排除残留的作用。氯气房还配有物联网显示屏,工厂内哪些区域在使用氯气、流量多大,显示屏上一清二楚。机台、氯气房内外和工厂车间配备了多个紧急切断按钮,发现异常按下任何一个,氯气阀门会自动关闭。

硅烷室火焰监测及报警装置

硅烷是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物,广泛应用于微电子、光电子工业。但它又以特有的自燃、爆炸性而著称,自发着火范围宽,燃烧能量极大,是一种高危险性的气体。进入硅烷室前,人员必须关闭手机,并把手放在人体静电释放器上。静电释放器上的绿色灯亮起,方能进入。

硅烷站位于该企业工厂的西南角,为半敞开式建筑,远离主厂房及其它建筑设施。墙上装有火焰探测器等火灾报警装置,以及雨淋等灭火系统。当室内温度升高或探测到火苗时,会联动启动自动喷淋灭火系统。另外,气体传感器装置一旦监测到硅烷泄漏,也会报警,并联动关停硅烷供应系统。

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